ICPMS（Inductively Coupled Plasma-Mass Spectrometry，电感耦合等离子体质谱仪），是一种检测金属杂质含量的设备（除F，O等难电离元素外，元素周期表几乎所有元素都可检测）

原理：通过雾化器的虹吸作用将液体样品引入至雾化室雾化，并在等离子体火焰处电离成一价正离子，四极杆通过元素不同质荷比筛选目标离子后到达EM检测器检测。

化学品：

酸类：HNO₃，H₂SO₄，HCl，HF，H₃PO₄，M₁，M₂，BOE等

碱类：NH₄OH，TMAH，H₂O₂等

有机类：IPA，OK73，DP001，PR等

检测元素：

Li, Na, Mg, Al, K, Ca, Ti, V, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zn, Ga, Ge, As, Sr, Zr, Nb, Mo, Ag, Cd, Ba, Hf, Ta, W, Pt, Au, Pb等

检出限：

＜10ppt

IC（Ion Chromatography，离子色谱），是利用固定相对不同离子的保留能力不同，将不同阴离子或阳离子分离出来的方法。

原理：利用自动进样器将样品引入色谱柱，在淋洗液的冲洗下色谱柱将样品中的不同离子分离开，然后进入检测器收集电导率信号，与标准曲线做比对，计算出不同离子的浓度。

离子交换色谱主要用于无机和有机阴阳离子的分析，在Fab中主要应用于UPW/环境AMC的监控

IC主要检测离子：

阴离子：F^-,Cl^-,Br^-,NO₂^-,NO₃^-,SO₄^2-,PO₄^3-                

阳离子：NH₄^⁺                

检出限：

＜1ppb

电位滴定仪，是基于酸碱中和、氧化还原、络合反应的原理进行滴定，通过测量电位变化以确定滴定终点的仪器

半导体行业主要用于Incoming，FAC和WET Process Chemical的常量浓度检测

化学品：

酸类：HNO₃，H₂SO₄，HCl，SC₁，SC₂，M₁，M₂等

碱类：NH₄OH，TMAH等

氧化性：H₂O₂等

测试范围：

0.1~100%

卡尔·费休（Karl Fischer，简写KF）滴定法是世界公认的测定各类物质中水含量的经典方法，其广泛应用于化学品、油品、药品和食品等领域

反应原理：

I. CH₃OH + SO₂ + RN → [RNH]SO₃CH₃

II.H₂O + I₂ +  [RNH]SO₃CH₃ + 2RN → [RNH]SO₄CH₃ + 2[RNH]I

(RN =有机碱)

反应过程中，消耗碘和水的摩尔比为1：1，通过测定反应中消耗碘的量，可计算出样品中的水含量。

在半导体行业中主要用于有机化学品的微水含量检测

化学品：

有机：IPA，丙酮等

测试范围：

0.001-1% (10 µg – 200 mg 的绝对水量)